目的：クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルー ム内

の清浄度の維持に務める。

目次：

１．ＣＲ静電床の清掃　　　　　・・・・・・・P2,3

２．ＣＲ天井の清掃　　　 　　　・・・・・・・P4

３．ＣＲ壁の清掃                   ・・・・・・・P5

４．ＣＲ設備・治工具の清掃   ・・・・・・・P6,7,8

５．ＣＲ清浄装置の清掃　　　・・・・・・・・P9,10

６．ＣＲ清掃用具の管理        ・・・・・・・P１１

７．ＣＲ清掃人員・教育          ・・・・・・・P12

８．各清掃方法の効果          ・・・・・・・P13

９．クリーンルーム清掃方法   ・・・・・・・P14